多功能 3D/三維光學共聚焦顯微鏡（ OPTELICS HYBRID+，三維表面輪廓儀/三維表面形貌儀 ），高度方向測量精度達0.05nm；系統整合了白光共聚焦+激光共聚焦技術；以雙共聚焦光學系統為基礎，集6項測試功能于一體，包括白光共聚焦、激光共聚焦、微分干涉測量、垂直白光干涉測量、相差干涉測量、反射分光膜厚測量等功能。